
| 技术参数  | Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr(C)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、 Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2 | 
| 垂直量程  | ±50μm、±200μm两档可调  | 
| 系统分辨力  | 50um量程的分辨力1纳米,400um量程的分辨力8纳米 | 
| 显示分辨率  |      0.001μm | 
| 滤波方式  | GAUSS、2RC、ISO13565 | 
| 符合标准  | ISO1997、ANSI、JIS2001 | 
| 评定长度Ln | Ln = (1~5)L  | 
| 示值误差  | 10% | 
| 示值重复性  | 6% | 
| 存储 | 可存储10组测量结果 | 
| 工作环境  | 温度0 ~ 40℃ 湿度<90%RH | 
| 储运环境  | 温度﹣40℃~60℃ 湿度<90%RH | 
| 重  量  | 760g   | 
| 外型尺寸  | 156 X75 X 56mm | 
| 传感器驱动套  | 29 X26 X 120mm |